DUV (Deep Ultraviolet)
Génération précédente de lithographie, encore utilisée pour les nœuds technologiques 10 nm et plus — représente la majorité du parc mondial installé.
Le DUV (Deep Ultraviolet) est la technologie de lithographie qui précède l'EUV. Elle utilise une lumière à longueur d'onde de 193 nm et constitue encore la majorité du parc mondial de machines lithographiques.
Pour les nœuds technologiques 10 nm et plus — logique mature, mémoire, analogique, capteurs, composants automobiles — le DUV reste la solution standard et largement suffisante. La majeure partie de la production mondiale de semi-conducteurs utilise des équipements DUV.
Malgré son ancienneté relative, le DUV reste stratégiquement sensible : les restrictions à l'exportation imposées sur certaines machines DUV avancées illustrent que même les technologies "matures" peuvent avoir une dimension géopolitique forte.