Lithographie EUV
Technologie de gravure de puces utilisant une lumière à 13,5 nm — seule capable de produire des semi-conducteurs inférieurs à 5 nm.
La lithographie est le procédé qui grave les circuits électroniques sur une plaque de silicium. Elle consiste à projeter un motif lumineux à travers un masque sur une surface photosensible, reproduisant ainsi des milliers de transistors de quelques nanomètres.
L'EUV (Extreme Ultraviolet) utilise une lumière à longueur d'onde de 13,5 nanomètres — bien plus courte que les technologies précédentes — ce qui permet de graver des structures beaucoup plus fines. C'est aujourd'hui la seule technique disponible pour fabriquer des puces en deçà de 5 nm.
La maîtrise de la lithographie EUV est le goulot d'étranglement de toute la chaîne de production des semi-conducteurs avancés. Sans accès à ces machines, aucun fabricant ne peut produire les puces les plus récentes.